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 二次イオン質量分析装置 SIMS ims-1270 |
 二次イオン質量分析装置 SIMS ims-3f |
 二次イオン質量分析装置 SIMS ims-6f |
 走査型電子顕微鏡 (JEOL JSM-7000F) |
 偏光顕微鏡 |
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 実体顕微鏡 |
 表面粗さ計 (Wyko NT1000) |
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 薄片作製-アイソメット |
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 凍結研磨装置 in box |
 真空炭素蒸着装置 |
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 二次イオン質量分析装置 SIMS ims-1280HR |
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